电子级磷酸
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描述
性状：无色粘稠液体（＞42℃），密度：1.672g/ml，熔点：42.35℃，沸点：158℃。
用途：主要用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业中芯片的清洗和蚀刻，还用于制备高纯磷酸盐。
主要技术指标：
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序号 |
指标名称 |
单位 |
实测 指标 |
国家标准 GB/T 28159-2011 |
|
|
|
E1 |
E2 |
|||
|
1 |
浓度（H3PO4) |
% |
85.18~86.44 |
85~87 |
85~87 |
|
2 |
NO3≤ |
ppm |
0.1 |
5 |
0.5 |
|
3 |
SO4≤ |
ppm |
1 |
10 |
5 |
|
4 |
Cl≤ |
ppm |
0.5 |
1 |
0.5 |
|
5 |
Al≤ |
ppb |
ND~170 |
200 |
50 |
|
6 |
B≤ |
ppb |
13 |
- |
50 |
|
7 |
Sb≤ |
ppb |
ND~20 |
3000 |
300 |
|
8 |
As≤ |
ppb |
24~90 |
100 |
20 |
|
9 |
Ba≤ |
ppb |
1~71 |
100 |
20 |
|
10 |
Cd≤ |
ppb |
1~16 |
100 |
20 |
|
11 |
Ca≤ |
ppb |
17~535 |
1000 |
50 |
|
12 |
Cr≤ |
ppb |
12~90 |
100 |
20 |
|
13 |
Co≤ |
ppb |
ND~61 |
100 |
20 |
|
14 |
Cu≤ |
ppb |
20~49 |
50 |
20 |
|
15 |
Fe≤ |
ppb |
18~280 |
300 |
50 |
|
16 |
Ga≤ |
ppb |
- |
100 |
10 |
|
17 |
Au≤ |
ppb |
ND~35 |
100 |
10 |
|
18 |
Pb≤ |
ppb |
ND~35 |
100 |
20 |
|
19 |
Li≤ |
ppb |
ND~10 |
100 |
10 |
|
20 |
Mg≤ |
ppb |
ND~89 |
100 |
20 |
|
21 |
Mn≤ |
ppb |
10~89 |
100 |
20 |
|
22 |
Ni≤ |
ppb |
10~91 |
100 |
20 |
|
23 |
K≤ |
ppb |
ND~98 |
100 |
20 |
|
24 |
Na≤ |
ppb |
23~452 |
500 |
50 |
|
25 |
Ag≤ |
ppb |
- |
100 |
20 |
|
26 |
Sr≤ |
ppb |
1~49 |
100 |
20 |
|
27 |
Sn≤ |
ppb |
- |
- |
10 |
|
28 |
Ti≤ |
ppb |
30~93 |
100 |
50 |
|
29 |
Zn≤ |
ppb |
11~98 |
100 |
50 |
ND-未检出
贵公网安备52010202004125号